大功率紫外線燈在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用

在半導(dǎo)體制造行業(yè)，大功率紫外線燈用于晶圓表面微粒檢測。晶圓的切割、清洗會對晶圓表面造成污染，而用大功率紫外線燈輻射能夠發(fā)現(xiàn)污染點，這對于提高晶圓良品率至關(guān)重要。

作為多年來從事紫外線燈研發(fā)、設(shè)計、制造的深圳紫外線燈品牌TANK007就跟大家伙來聊聊被稱為集合幾乎人類所有理工學(xué)科的智慧的半導(dǎo)體行業(yè)為何需要使用大功率紫外線燈。

目前應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的大功率紫外燈分為便攜式紫外線燈和固定式紫外線燈。

其中，便攜式大功率紫外線燈如大功率紫外線手電筒可用于便攜式操作，常見的如檢查設(shè)備表面塵埃。

而固定式大功率紫外線燈可檢查晶圓表面質(zhì)量和微粒檢查。例如臺積電、中芯國際和上海微電子等半導(dǎo)體企業(yè)都有涉及到大功率紫外線燈。

大功率紫外線燈用于檢查半導(dǎo)體潔凈室

1、半導(dǎo)體潔凈室內(nèi)部為了保持干凈，通常潔凈室內(nèi)氣壓高于標(biāo)準(zhǔn)大氣壓才能確保粉塵只出不進。

另外通過安裝大型鼓風(fēng)機，把過濾的清潔空氣輸入到潔凈室中，為了保證溫濕度空調(diào)系統(tǒng)也是必須的安裝的。至于日常檢查是否有塵埃落入可借助大功率紫外線燈來檢查。

3、為了最大程度減少塵埃在潔凈室滯留，潔凈室所有氣流方向均由上往下為主。

4、進入潔凈室內(nèi)的物料盡量選用不易產(chǎn)生靜電的材料，以減少對灰塵的吸附。

5、進出潔凈室內(nèi)的工作人員，嚴(yán)格按照空氣吹浴 (air shower) 程序，除去自身表面粉塵。

6、為確保人體及衣物的毛屑，進出潔凈室/無塵室的工作人員需穿戴無塵衣，杜絕與外界隔絕接觸 

總之，晶圓的制造環(huán)境潔凈度將直接影響著晶圓的良品率，晶圓制造企業(yè)必須要有配套無塵生產(chǎn)環(huán)境才能確保晶圓的質(zhì)量。

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